电感耦合等离子体质谱仪是测定超痕量元素和同位素比值的仪器，由等离子发生器、雾化室、炬管、四极质谱仪和一个快速通道子倍增管（称为离子探测器或收集器）组成。波谱干扰是电感耦合等离子体质谱仪的主要局限。
ATTOM 高分辨率电感耦合等离子体质谱仪，运用数学校正、特殊的样品导入系统、特殊的等离子体参数和碰撞/ 动态反应池等手段抑制部分的干扰，减少或消除波谱干扰。
● 灵敏度（同心轴雾化器）：>109cps/ppm 铟(In)；
● 检出能力：<1ppq，无干扰核素；
● 暗电流：<0.2cps；
● 动态范围：>109 线性，自动交叉校正；
● 分辨率：300、4000 或10000（10% 峰谷定义，相当于5% 峰高）；
● 信号稳定性：<1% RSD（10min）。